中国计量测试学会推荐项目入选科协“十大工程难题”
其征集的多项计量测试领域成果引重视 两项团体标准实施
本报讯 (记者 史玉成)在中国计量测试学会迎来60华诞之际,5月18日,该学会召开重要信息发布会,宣布其推荐的“如何解决集成电路制造工艺中缺陷在线检测难题”入选2020年中国科协“十大工程难题”,“大长径比纳米探针可控制备技术及应用”入选“科创中国”电子信息技术领域十大先导技术榜单。由其制定的两项重要团体标准开始实施。
据中国计量测试学会秘书长马爱文介绍,2018年以来,中国科协通过全国学(协)会开展了“重大科学问题和工程技术难题”征集、评选、发布活动。中国计量测试学会自2019年开始积极参与,两年来共征集计量测试领域重大科学问题和工程技术难题49个,并择优推荐到中国科协。2020年,该学会推荐的由中国科学院微电子研究所提出的“如何解决集成电路制造工艺中缺陷在线检测难题”入选2020年中国科协“十大工程难题”。
集成电路领域是国际科技竞争的主战场和大国博弈的焦点。该文作者之一的中国科学院微电子研究所周维虎研究员表示,缺陷是制约20nm及以下制程芯片良率提升的关键,我国在缺陷在线检测领域存在明显短板。目前,对于集成电路缺陷检测技术及设备,一方面现有的最先进技术设备被少数发达国家垄断,对我国技术封锁;另一方面,世界范围内7nm及以内节点的缺陷在线检测技术仍未成熟,设备缺口仍然巨大,谁率先掌握了相应关键技术,谁就掌握了未来主导权,这对我国来说既是机遇又是挑战。因此,突破下一代节点集成电路制造缺陷在线检测技术,不但可以打破有关国家技术封锁,解决“卡脖子”难题,还将提升我国制造业整体水平,为交叉领域科技发展产生重大影响力和引领推动作用,同时带来巨大经济效益和国际影响,占领国际竞争制高点。
2020年5月,中国科协打造的“科创中国”平台上线。同时,在全国开展了“科创中国”先导技术榜单征集活动。中国计量测试学会共征集了7项计量测试领域的先导技术。经专家评审,推荐5项科技成果到中国科协。西安交通大学研究的“大长径比纳米探针可控制备技术及应用”入选“科创中国”电子信息技术领域十大先导技术榜单。据介绍,该项目所制备的纳米探针具有刚度好、性能稳定等优势,可以用于半导体芯片中的大深宽比结构测量等,目前已经在相关领域多家单位进行了应用。
发布会上,马爱文还介绍了近期由中国计量测试学会制定的两项重要的团体标准——《眼镜验光配镜行业服务质量规范》和《移动终端摄像系统光电性能和图像质量评测方法》的情况。《眼镜验光配镜行业服务质量规范》规定了眼镜验光、配镜和零售经营性业务应当具备的服务要求,有助于不断提升眼镜制配行业服务质量。《移动终端摄像系统光电性能和图像质量评测方法》提出了影像实验室测试环境和使用方法的详细规范,在涵盖基础测试和专业测试的基础上,适当增加了新的应用方向的性能评估内容,建立了一套完整、规范而实用的评价体系。据悉,运营商及电商等销售实体可使用该团体标准作为移动终端产品摄像性能和质量评估的依据。
《中国质量报》