我国建成全球首套表界面微观形貌缺陷测量“三维标尺”

近日，市场监管总局批准新建区域法表面与亚表面结构几何参数基准装置，该装置在国际上率先实现从二维“轮廓线”到三维“空间体”的维度提升，实现表界面结构空间立体成像。

该基准装置实现表界面微观几何形貌结构计量能力从“盲人摸象”轮廓法跃升至“三维全景”区域法的技术跨越，开创亚表面结构计量体系，填补我国三维表面形貌与亚表面结构计量能力空白。其核心技术实现完全自主可控，使我国在表界面计量领域完成了从跟跑到领跑的历史性跨越，为集成电路、高端智能装备、航空航天、遥感探测等精密制造业高质量发展夯实计量基础。

超精密制造、原子级制造已成为当前和未来一段时间制造强国建设的重要发展方向。表界面结构几何参数的准确评定直接关乎绝大多数制造业产品的质量安全、疲劳失效等全寿命周期问题。因此国家表界面结构计量基准与计量体系的能力水平是我国抢占全球制造业制高点的决定性因素之一。

该基准装置不仅实现了传统表面粗糙度参数迭代更新至区域法三维表面形貌参数，还将测量维度从表面形貌拓展至表面下130微米范围内的亚表面区域微观几何结构，达到国际领先水平。一次测量即可同时获得表界面立体空间的微观形貌和结构信息，犹如在长白山天池水域内，同时精准获取水面涟漪与水中鱼群乃至水底地貌。