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3项国家一级标准物质发布
为纳米制造产业提供精准“标尺”
本报讯 （记者史玉成）近日，市场监管总局新批准二维铬纳米栅格标准物质、二维硅纳米栅格标准物质、一维硅纳米光栅标准物质3项国家一级标准物质，能够同时满足纳米制造产业角度和长度校准需求，为新一代信息技术、新材料、生物制造、高端装备等领域的纳米制造提供精准“标尺”。
据介绍，二维铬纳米栅格标准物质突破性地采用分步沉积原子光刻技术，制备难度较大，可直接溯源到自然界量子化物理常数（铬原子跃迁频率），角度绝对准确性在0.001°量级。二维铬纳米栅格可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准，也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。
纳米级角度标准物质的研制成功，实现了纳米测量领域的扁平化计量，避免传统逐级量值传递方式造成的误差累积放大，能够通过在线校准直接将高精度计量数据直接传递到企业计量现场，为我国纳米制造产业高质量发展提供有力支撑。
据悉，市场监管总局将持续强化纳米测量领域标准物质研制应用，进一步解决纳米制造“测不了、测不全、测不准”问题，为筑牢新兴产业和未来产业技术基础提供支撑保障。
京公网安备 11010502031058号
