广东省计量科学院完成多项微纳米技术科研项目

微纳尺度间 接轨大世界

广东省计量科学院完成多项微纳米技术科研项目

□ 胡 阳 本报记者 沈 洪

从砖块大小的“大哥大”，到小巧轻便多功能的智能手机；从笨重的台式电脑，到便携轻薄的平板电脑，这些电子产品“瘦身”过程的背后均是——微纳米技术的革新。广东省计量科学研究院（以下简称广东省计量院）通过科研立院，使多种微纳米精密分析仪器量值得到准确溯源，为微纳米计量准确、技术水平接轨国际提供了技术支撑。

当前科技日新月异发展，尤其是纳米技术在材料、化学、生物、能源和医药卫生等领域广泛应用，且具有重要地位和广阔市场前景。纳米技术研究主要是研究、发现和加工结构尺寸小于100nm的材料、器件和系统，以获得所需要的功能和性能。

随着纳米科技及微加工的发展，微纳尺度产品的计量检测愈加迫切，需求也逐渐增大。为解决量传溯源问题，广东省计量院通过承担质检总局科研项目“微纳米薄膜厚度的量值溯源及膜厚测量仪器校准技术研究”和省科技厅科研项目“微纳米尺度薄膜台阶标样及膜厚量传体系研究”，成功研制出微纳米线宽标准样板、纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度标准样品等。其研究成果可用于扫描电子显微镜（SEM）、扫描探针显微镜、X射线荧光测厚仪的校准。在此基础上，该院率先在国内建立扫描探针显微镜、X射线荧光测厚仪校准两项大区级计量标准，基本解决华南地区该类微纳米尺度仪器的量传溯源问题。

为促进微纳米技术水平与接轨国际，广东省计量院参与了国家科技支撑计划项目“微纳技术计量标准和标准物质研究”，协助国家计量院开展计量型扫描电镜及双探针扫描探针显微镜标准测量装置的研究，在国内首次实现扫描电镜的测量结果直接溯源至国际米定义激光波长基准，同时利用双探针测量模式，突破探针显微镜的测量盲区，实现真三维纳米结构的准确测量。

目前，经广东省计量院校准的扫描电子显微镜、X射线荧光测厚仪等高端分析仪器，为华南地区的微电子、超精密加工、新材料以及汽车制造产业等领域共150多家企业提供了转型升级的量传溯源支撑，助推产业转型升级。例如，国家级高新技术企业深圳华星光电在液晶显示面板研发过程中存在精密元器件量值不确定等问题，一直没有攻关成功。广东省计量院对其微观分析仪器进行校准和溯源，确保仪器测量结果准确可靠，促进了该企业的高端液晶面板开发。

随着新兴产业的发展，微纳米技术将涉及新材料、新能源、新装备等几乎所有新兴产业领域。广东省计量院在此项技术上取得多项突破，为未来其他计量基准所需的微纳器件自主研发奠定了基础。据悉，该院将加大微纳技术研发投入和力度，为微纳技术进入产业提供支撑，助力“中国制造 2025”。

《中国质量报》